净化技术与设备的发展趋势

 
洁净技术也称为生产环境和污染控制技术，是二，三十来随着技术发展起来的一新兴科学技术。洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质，有效地控制微量杂质，以保证高科技产品的成品率和可靠性。通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。 
对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着非常重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国在“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。 
　　随着我国生活水平提高，人们对环境和生活质量要求越来越高，用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎，净化工程技术已开始进入千家万户，进入人们的现代生活。 
　　我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA过滤器，比国外晚了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0．1微米洁净技术和设备在国际上先进国家已成为成熟技术，我国则刚刚起步。
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